撞击如果不是特别严重，一般先损坏测头(如Renishaw TP20/200)，然后是测座(如Renishaw PH8/PH10)，通常这些损伤必须送回测头、测座生产厂家维修或换修。撞击更严重的话伤及设备本体，则需要重新校准、标定三坐标测量机，重新做补偿参数。建议你还是联系生产厂家处理吧
